大型通用长度测量仪器，直接测量范围大。配备水平基床的比较仪（高度同质、坚硬花岗石）
X 轴测量系统：Heidenhain 增量，精密长度测量系统，100
mm 长的测量元素
基床中载物台左和右侧的整个基床长度上的 Heidenhain 增量入射光测量系统
Z 轴测量系统：RENISHAW 增量，精密长度测量系统，长度 80 mm
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ULM 520 S-E |
ULM 1000 S-E |
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设备尺寸 |
1080 x 380 x 480 |
1500 x 380 x 480 |
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外测量的测量范围 [mm] |
0 至 520 |
0 至 1025 |
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内测量的测量范围 [mm] |
0.5 至 365 |
0.5 至 870 |
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直接测量范围 [mm] |
外测量：0 至 520 |
外测量：0 至 1025 |
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测量不确定性 MPEE1 (L in mm) [µm] |
仅 ABBE 测量元素：MPE E1
?(0.09+L/2000) |
仅 ABBE 测量元素：MPE E1
?(0.09+L/2000) |
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测量力 [N] |
0.2 ; 1.0 - 4.5 ; 11 |
0.2 ; 1.0 - 4.5 ; 11 |
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可重复性 [µm] |
Abbe 测量元素：?0.05 |
Abbe 测量元素：?0.05 |
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设备长度 [mm] |
1080 |
1500 |
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质量 [kg] |
160 |
215 |
校准
大量附件和模块化组件，可解决各种测量任务，包括以下测量：
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