功能参数

 X轴量程

 120 mm

 300 mm

 300 mm

 350 mm

 360 mm

 Z轴量程

 30 mm

 100 mm

 375 mm

 280 mm

 550 mm

 测量系统

 数字

 数字

 光栅

 光栅

 光栅

 轮廓测量

 √

 √

 √

 √

 √

 双向轮廓测量

 -

 -

 ●

 √

 √

 X轴向左测量

 -

 -

 √

 √

 √

 X轴扫描

 -

 -

 -

 √

 √

 测量速度

 0.03-1.75 mm/s

 0.1-0.3 mm/s

 速度自动优化

 -

 -

 √

 √

 √

 数据处理

 数字

 导轨

 机械

 气浮轴承

 分辨率

 0.01 μm

 0.01 μm

 0.001 μm

 0.001 μm

 0.001 μm

 工作台承重

 30 Kg

 75 Kg

 35 Kg

 25 Kg(50 Kg HD)

 50/100 Kg

 数据导出

 ●

 ●

 ●

 ●

 ●

 电动Y工作台

 -

 -

 ●

 ●

 ●

 圆柱螺纹评价

 -

 -

 ●

 ●

 ●

 圆锥螺纹评价

 -

 -

 ●

 ●

 ●

 X轴误差(μm)

 ±(1.2+2Lx/25)  

 ±(1.0+Lx/25)

 ±(0.75+Lx/100)

 ±(0.5+Lx/100)

 ±(0.5+Lx/100)

 Z轴误差(μm)

 ±(1.2+2Lz/25)  

 ±(1.2+Lz/25)

 ±(0.75+Lz/100)

 ±(0.5+Lz/100)

 ±(0.5+Lz/100)

 轮廓软件功能

 轮廓评价

 √

 √

 √

 √

 √

 直径评价

 -

 -

 ●

 √

 √

 数控自动测量

 √

 √

 √

 √

 √

 数控自动评价

 √

 √

 √

 √

 √

 粗糙度功能

 粗糙度

 -

 -

 ●

 √

 √

 Dominant Ripple

 -

 -

 ●

 ●

 ●

 Robust Gaussian

 -

 -

 ●

 ●

 ●

 量程（Z/X）

 -

 -

 1.0/300 mm

 350/280 mm

 550/360 mm

 Ra范围

 -

 -

 ≥0.1 μm

 ≥0.05 μm

 ≥0.1 μm

 Rz范围

 -

 -

 ≥1.0 μm

 ≥0.5 μm

 ≥0.8 μm

 准确性

 -

 -

 5% MW

 5% MW

 5% MW

 测速

 -

 -

 0.1 mm/s

 0.1-0.5 mm/s

 测力

 -

 -

 7.5 mN

 备注

 √标配，●选配，-没有

 NW：标准值

 MW：测量值